之前我們曾提到，DKK的氧化鋯也可用作研磨材料，在這里我們將進(jìn)行更詳細(xì)的介紹。
目前，金剛石、氧化鋁和氧化鈰是最常見的用于半導(dǎo)體拋光的研磨材料。

金剛石非常堅硬，氧化鋁和鈰次之，而氧化鋯比氧化鋁軟，比鈰硬，介于兩者之間。

而使用氧化鋯制成的研磨材料的優(yōu)點是在不降低拋光速度的情況下，降低拋光時劃傷的概率。
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